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    日本nasgiken金属物质自动回收设备NAC系列 NAC-302 ●硅片的处理过程是自动化的,从气相分解到污染物回收再到收集样品的稀释。 ●疏水性和亲水性晶圆均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圆)。 ●当需要同时对大量晶圆进行采样和分析时,这是一种极其强大的设备。 ●具有对回收的药液进行计量和稀释的功能,防止晶圆上残留的药液继续作业。

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