日本applics监测半导体制造工艺臭氧浓度计

日本applics监测半导体制造工艺臭氧浓度计 OM-101-01 特点介绍

OM-101型系列是用于监测半导体制造工艺等中使用的添加臭氧的超纯水中溶解臭氧浓度的计量器。安装简单，不占用空间，操作性优良

小型轻量变换器，检测器分离型变换器DIN 96×采用96mm面板安装型。

内联式检测器无需繁琐的采样工作。由于是连续测量，因此可以实时确认浓度。

操作性结构简单，操作极为简单。

输出4～20mA测量值输出，上、下限的警报输出均为标准配置。

产品名称溶解臭氧浓度计分离式（低浓度）

模型OM-101-01

测量范围0～1mg/L

测量方法紫外线吸收法

标准设备输出DC4~20mA输出/报警输出（上限/下限1a接点）

评论蓝宝石规格可选电源：AC100V

日本applics监测半导体制造工艺臭氧浓度计 OM-101-01 规格参数

分离型低浓度用溶解臭氧计型式OM-101-01测定方法紫外线吸光度法测定标准范围0～1mg/L（最小显示0.01mg/L）表示3位数LED传输输出信号DC4～20mA绝缘型负载电阻600Ω以下直线性±4%FS以内重复性±2%FS以内稳定性零漂移…+/-4%FS/月以内的跨度漂移…±4%FS/月内响应性90%响应30秒内（试样流量为100mL/min）凝胶校正无臭氧水通水，通过零修整器调整水泵校准基于样品手分析值的方法，或使用内置校准刻度盘的方法样品水条项目流量…50～120mL/min范围内的恒定流量/压力…0.3MPa（3.0Kgf/cm2）以下/温度…15～40°C光源寿命约10000小时警报触点输出警报设定...上下各前面板修剪器设定