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日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150产品采用AC伺服电机且无刷，因此在防止洁净室污染方面具有出色的性能，并且减少电机的发热以防止连续使用时的温度升高。膜厚再现性也较低。
产品型号：MS-B100 / MS-B150厂商性质：经销商更新时间：2024-10-12访 问 量：156
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日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150 特点介绍
产品采用AC伺服电机且无刷，因此在防止洁净室污染方面具有出色的性能，并且减少电机的发热以防止连续使用时的温度升高。膜厚再现性也较低。
日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150规格参数
MS-B100
最大板尺寸 φ4英寸晶圆或75×75mm基板
转速（转/分） 20～8,000
旋转精度 ±1rpm（负载时）
发动机 交流伺服电机
盖 丙烯酸纤维
纺丝室直径 φ220mm
步进模式数量 100 步 x 10 种模式
时间设置 999.9秒
安全联锁装置 真空标准设备
盖子可选
滴水装置 无法安装
使用真空压力 -0.08～-0.1MPa
电源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 259宽×246高×330深
重量 10公斤
MS-B150
最大板尺寸 φ6英寸晶圆或100×100mm基板
转速（转/分） 20～7,000
旋转精度 ±1rpm（负载时）
发动机 交流伺服电机
盖 丙烯酸纤维
纺丝室直径 φ290mm
步进模式数量 100 步 x 10 种模式
时间设置 999.9秒
安全联锁装置 真空标准设备
盖子可选
滴水装置 选项
使用真空压力 -0.08～-0.1MPa
电源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 352宽×303高×432深
重量 16公斤
邮箱：akiyama_zhou@163.com
传真：
地址：广东省深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路8号和健云谷2栋10层1002
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