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日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶

日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列

降低成本 用臭氧水替代现有化学溶液
改善工艺性能
半导体晶片清洗去除颗粒、金属、有机物质等杂质
提高太阳能电池板的发电效率良好的纹理形成、杂质去除等。
减少环境影响(环保)
通过减少化学品排放实现排放

  • 产品型号:MTK-HC系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-12
  • 访  问  量:211
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详细介绍

日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 特点介绍


降低成本  用臭氧水替代现有化学溶液

改善工艺性能

半导体晶片清洗去除颗粒、金属、有机物质等杂质

提高太阳能电池板的发电效率良好的纹理形成、杂质去除等。

减少环境影响(环保)

通过减少化学品排放实现排放

通过使原料气体(氧气、空气)流入双石英玻璃管之间的间隙中产生的无数微细放电(无声放电),在原料气体中产生臭氧。

所有与气体接触的部件均由石英制成,因此不存在金属污染。

高浓度臭氧

臭氧水中半导体、液晶、太阳能电池等金属杂质清洁规范

臭氧浓度迅速上升,约1分钟内达到最高臭氧浓度。

小型装置宽600mm×深600mm×高1300mm(25ppm、5L/min规格)

与其他公司相比便宜


日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 规格参数


・液晶(有机物除去用)

・半导体

(金属、粒子、有机物除去用)

・太阳能电池

(有机物、粒子除去用)

・MEMS部件、传感器等

(有机物、粒子、有机物除去用)金属)・洁净规格(不含金属)

・涵盖高浓度、高流量

・浓度稳定性

・性价比

半导体(清洗)

FPD、LCD(清洗)

MEMS、传感器(清洁)

硬盘(清洁)

太阳能电池(清洁)

医疗(洗手、纯净水管道清洗)

食品(洗手、杀菌、除臭)



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