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日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 特点介绍
降低成本 用臭氧水替代现有化学溶液
改善工艺性能
半导体晶片清洗去除颗粒、金属、有机物质等杂质
提高太阳能电池板的发电效率良好的纹理形成、杂质去除等。
减少环境影响(环保)
通过减少化学品排放实现排放
通过使原料气体(氧气、空气)流入双石英玻璃管之间的间隙中产生的无数微细放电(无声放电),在原料气体中产生臭氧。
所有与气体接触的部件均由石英制成,因此不存在金属污染。
高浓度臭氧
臭氧水中半导体、液晶、太阳能电池等金属杂质清洁规范
臭氧浓度迅速上升,约1分钟内达到最高臭氧浓度。
小型装置宽600mm×深600mm×高1300mm(25ppm、5L/min规格)
与其他公司相比便宜
日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 规格参数
・液晶(有机物除去用)
・半导体
(金属、粒子、有机物除去用)
・太阳能电池
(有机物、粒子除去用)
・MEMS部件、传感器等
(有机物、粒子、有机物除去用)金属)・洁净规格(不含金属)
・涵盖高浓度、高流量
・浓度稳定性
・性价比
半导体(清洗)
FPD、LCD(清洗)
MEMS、传感器(清洁)
硬盘(清洁)
太阳能电池(清洁)
医疗(洗手、纯净水管道清洗)
食品(洗手、杀菌、除臭)
邮箱:akiyama_zhou@163.com
传真:
地址:广东省深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路8号和健云谷2栋10层1002