山田光学YAMADA半导体用卤素光源照明装置

山田光学YAMADA半导体用卤素光源照明装置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 特点介绍

高亮度卤素光源装置在半导体芯片及液晶基板加工

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導体晶片及液晶基板加工中最費人工的成形製品表面的異物、刮痕、抛光不均、霧状、划傷等。

用于检测各种缺陷的宏观观察用照明装置检查灯。

山田光学YAMADA半导体用卤素光源照明装置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 规格参数

1、可照亮样品表面400,000Lx以上。

2、光源采用卤素灯，色温高，照度不均小，光线极其稳定锐利。

3、采用冷镜，热量的影响极大地降低到传统铝镜的1/3。

4、两级切换机构，一键实现高照度观察和低照度观察。

YP-150I 照度范围：30mmφ

YP-250I 照度范围：60mmφ

超精密平面检测的理想选择！通过惊人的照明，可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I"是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板

另外，由于采用卤素灯作为光源，色温高，

光照不均匀的情况很少，光照***稳定锐利。

姊妹机“YP-250I"也可用于 8 英寸。

光源采用卤素灯

　　■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3

　　■ 高照度观察和低照度观察可一键切换

　　请用于超精密平面检测！