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日本filgen溅射/碳镀膜机系统多功能高精度 12155-AB/12155E-AB●节省空间/台式溅射镀膜机●快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。●可溅射/蚀刻●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却●提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）
产品型号：12155-AB/12155E-AB厂商性质：经销商更新时间：2024-10-11访 问 量：219
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日本filgen溅射/碳镀膜机系统多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 特点介绍
●节省空间/台式溅射镀膜机
●快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。
●可溅射/蚀刻
●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。
●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却
● 提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）
● CE、RoHS（有害物质限制）：符合欧盟有害物质法规
● 多种组合可实现多种选择（*见下文）
例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器
日本filgen溅射/碳镀膜机系统多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 规格参数
模型 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB
类型 基本的 带膜厚监测仪 具有蚀刻模式和
膜厚监视器
电源 AC110V 50Hz(60Hz)
配件 Au靶材厚度76μm/阴极57mmφ
作品 真空控制基座单元
碳涂层机模块（带碳纤维头）
溅射镀膜机模块
― 晶体谐振器膜厚监测器
*不能与碳镀膜机一起使用。
● 节省空间/台式溅射镀膜机
● 快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。
● 可溅射/蚀刻
● 可以通过移动样品台来调整到目标的距离。
● 惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却
● 提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）
● CE、RoHS（有害物质限制）：符合欧盟有害物质法规
● 多种组合可实现多种选择（*见下文）
例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器
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