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日本filgen碳镀膜机涂层系统快速响应高性能

日本filgen碳镀膜机涂层系统快速响应高性能 11427-AB

●节省空间/台式溅射镀膜机
●快速镀膜(金镀层在 20 秒内电流可达 200A)——对样品无热损伤。
●可溅射/蚀刻
●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。
●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却
●提供各种靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可选)

  • 产品型号:11427-AB
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-11
  • 访  问  量:182
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详细介绍

日本filgen碳镀膜机涂层系统快速响应高性能 11427-AB 特点介绍


●节省空间/台式溅射镀膜机

●快速镀膜(金镀层在 20 秒内电流可达 200A)——对样品无热损伤。

●可溅射/蚀刻

●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

提供各种靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可选)

● CE、RoHS(有害物质限制):符合欧盟有害物质法规 

● 多种组合可实现多种选择(*见下文) 

 例) ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器 


日本filgen碳镀膜机涂层系统快速响应高性能 11427-AB 规格参数


尺寸 260(宽)×310(深)×150(高)毫米 

沉积头 碳纤维头(标配)

碳杆头 

气相沉积用碳 碳纤维(标准碳蒸发头用)、

碳棒(碳蒸发头用) 

模型 11427-AB 

电源 AC110V 50Hz(60Hz) 

作品 真空控制基座单元 

碳涂层机模块(带碳纤维头) 


● 节省空间/台式溅射镀膜机

● 快速镀膜(金镀层在 20 秒内电流可达 200A)——对样品无热损伤。

● 可溅射/蚀刻

● 可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

● 惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

提供各种靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可选)

● CE、RoHS(有害物质限制):符合欧盟有害物质法规 

● 多种组合可实现多种选择(*见下文) 

 例) ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器 


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