日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置

日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置 PF-F系列

脱气膜采用PTFE，接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。
可用于在半导体、LCD制造过程中使用液体的脱气、除泡（各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等）
溶剂型喷墨墨水的脱气

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详细介绍

日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置 PF-F系列特点介绍

脱气膜采用PTFE，接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。

可用于在半导体、LCD制造过程中使用液体的脱气、除泡（各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等）

溶剂型喷墨墨水的脱气

日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置 PF-F系列规格参数

PFF的脱气原理是使用四氟化乙烯树脂（PTFE）制的管状透气膜除去溶解在液体中的气体。

具体如下图所示，将管外侧设为真空，通过管内外气体的压差从管内流动液体中去除溶解气体。

PF-F series

脱气膜采用PTFE，接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。

型号流量尺寸耐圧最高使用温度连接连接

mL/minmmMPa℃（液体入口/液体出口）真空口

PF-3T-S-F 1-20 29×58×86 0.2 40 4×2 tube 4×2 tube

PF-03F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8

PF-05F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8

PF-10F 1 - 200 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8

PF-13F 1 - 300 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8

PF-28F 1 - 500 102φ×440 0.294 40 3/8 Super pillar Rc 1/8

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