日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式

日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式 Crystalline Tester CS1

"Crystalline Tester CS1"是非破坏性、非接触式检测可见光（波长400～800nm）透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。

产品型号：Crystalline Tester CS1
厂商性质：经销商
更新时间：2024-10-11
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详细介绍

日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式 Crystalline Tester CS1 特点介绍

"Crystalline Tester CS1"是非破坏性、非接触式检测可见光（波长400～800nm）透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。

通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。

日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式 Crystalline Tester CS1 规格参数

产品特长高速测量（6" 衬底　90秒）

・可以最快速度简捷方式观察残留应力分布。

纵向结晶评价

・因为是透视型结晶评价装置，所以不只可以观察衬底表面，还可以观察包括Z轴方向的晶圆所有部位。

可取得与X-Ray Topography imaging comparison同等测试效果

・可以取得同等测试效果，实现高速低成本。

价格竞争力

・在晶片测量装置中，属于性价比好的一款系统。

可测量材料 SiC单晶衬底、及SiC外延衬底

GaN单晶衬底、及GaN外延衬底

AlN单晶衬底、及AlN外延衬底

可视光可透视、有双折射效果的结晶均可。

测试效果不佳材料・无可视光透视性材料：Si、GaAs等

・无双折射效果材料：蓝宝石、Ga2O3 等

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