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日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式

日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式 TCS2100/TCS3100

使用激光位移传感器,将工件固定
,在传感器移动的同时,
以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量,并
通过下式计算翘曲量:专用软件。

待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。
这是自动判定作品合格与否的检查机。

  • 产品型号:TCS2100/TCS3100
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-10
  • 访  问  量:161
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详细介绍

日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式 TCS2100/TCS3100 特点介绍


使用激光位移传感器,将工件固定

,在传感器移动的同时,

以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量,并

通过下式计算翘曲量:专用软件。


待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。

这是自动判定作品合格与否的检查机。


日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式 TCS2100/TCS3100 规格参数


・ 以低成本实现高精度测量 

 ・ 高速XY平台,数据采集速度快 

 ・ 由于是非接触式,因此无需担心损坏测试对象。 

 ・ 被测物体的影响很小 

 ・ 可以测量从晶圆到研磨金属产品或透明玻璃的任何物体 

 ・ 底座采用石材面板,可最大限度地减少老化。 

 ・ 多种测量模式快速测量 

 ・ 通过登记工件的判断基准值,可以自动判断OK或NG。 

 ・ 我们将根据工件制作测量台等(请咨询我们)。 

  ・ 测量面积:200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ・ 测量方式:XY扫描法 

  ・ 可用的激光位移计:三角测量、共焦、光谱干涉激光、多激光同轴 

  ・ 分辨率:~0.001μm(最大) 

芯片的弯曲度测量不锈钢、钛、铝、铁板等金属板的翘曲测量磨削加工品的翘曲测量树脂成型品、橡胶加工品等翘曲测定主要适用于方形的测量对象物

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