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日本日酸TANAKA半导体高压压力调节器减压阀

日本日酸TANAKA半导体高压压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF

●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

  • 产品型号:TORR-2500-4W-B515-6VF6VF
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-09
  • 访  问  量:124
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详细介绍

日本日酸TANAKA半导体高压压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF 特点介绍


●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。

●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

●在一次室的流路内置过滤器,减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●TORR-2500系列作为一次高压用大流量机型,用于比TORR-2300流量要求更高的气体供给设备等。

●由于没有内置过滤器,请在配管上施工过滤器。


日本日酸TANAKA半导体高压压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF 规格参数


●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:15MPa1.0MPa 180m3/h(无)(P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS)-5~40°C4.9kg过滤器未装入,请另行设置。3/8"1.3×10-6Pa m3/sec以下

●使用材质接触气体部主体:隔膜:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316L、SUS316、氟树脂C3604S45C

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