日本日酸TANAKA低压用压力调压器减压阀 TANAKA日酸 TORR-80-3S-3010-8SH8SH●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
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日本日酸TANAKA低压用压力调压器减压阀 TANAKA日酸 TORR-80-3S-3010-8SH8SH 特点介绍
●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。
●在一次室的流路内置过滤器,减少了内部泄漏的发生。
●包括泄漏测试在内的全部出货检验。
●还可制作电解研磨规格品。(接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm)
●TORR-80系列作为一次低压用中流量机种,可用于液化气体的一次减压、需要流量的配管中使用的调整器等用途。
日本日酸TANAKA低压用压力调压器减压阀 TANAKA日酸 TORR-80-3S-3010-8SH8SH 规格参数
●使用材质接触气体部主体:隔膜:过滤器:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316L(焊接连接规格中未内置过滤器。)SUS316LSUS316(螺纹连接)SUS316L(焊接连接)SUS318L、SUS316、氟树脂C3604ABS树脂、C3604
●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:2.0MPa0.6MPa1,60 0L/min(或)(P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2GAS)-5~40°C3.0kg20μm(焊接连接规格中未内置过滤器)。)1/2"1.3 10-8Pa m3/sec以下
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