日本e-yamato超高纯调压阀分析仪压力调节器

日本e-yamato超高纯调压阀分析仪压力调节器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 特点介绍

高钝度气体（纯度99.999~99.99999%）和腐蚀性气体的供应。

消除了滑动部，抑制了微粒的产生。采用波形隔膜，实现压力高灵敏度。

外部硅片采用奥甲基硅片。

流动方向也可制作左侧入口（左高压）型。

日本e-yamato超高纯调压阀分析仪压力调节器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 规格参数

SRQ-3HL

SRQ-3LL

一次侧压力（MPa）

1~154

2~20

0.7~3

二次倒使用压力（MPa）

0.2~0.99

0.2~0.8

使用温度（度C）

-10~40（股计温度:-10~7摄氏度）1/2

外部响应量（Pam/sec）

螺纹接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接气主本体

SUS316L

要部材質材算配号分离片

SUS316L

诺科脱明井材

PCTFE

（P1=20MPa型:PEEK）

PTFE

是P.476其他

SUS316L

过滤器粗糙度

40μm

量(kg)

2.3

2.3

標準流量

g/minio.e

1300(P=15MPa.Pe=0.8MPa)

1000(P)=3MPa.Pe=0.8MPa)

最大流量

8/min(om.N)

1600(P:=15MPa.P2=0.8MPa)

1300(P)=3MPa.Pz=0.8MPa)