日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列

日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 特点介绍

L81系列是一款专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有两级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规范，使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。

两级减压结构不易受气源压力波动的影响，提供稳定的压力和流量，非常适合液化气绝热膨胀导致温降较大的气体。

功能高压

焊接规范金属垫片配件调节阀结构针型兼容气体7 种特殊高压气体

腐蚀性气体

有毒气体以外的气体 纯

气体设备标准流量～60NL/分钟

日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 规格参数

调节压力 Max.0.99MPa

（范围规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.000007MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.03 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 8.9cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约2.0公斤 

1/4" 面对面密封接头尺寸（公母相同）………………………………约 100mm

[备注]

■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4" 外螺纹面密封接头。

■ 进出口接头的类型、尺寸和形状（外螺纹、内螺纹）组合如图所示。可以从以下所示的产品型号代码表中进行选择。

■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接头的面对面尺寸可能与标准面对面尺寸不同。