日本syscom振动/位移分析装置激光测量仪

日本syscom振动/位移分析装置激光测量仪 MEMSMap 510 特点介绍

Memsmap 510使用CCD相机和显微镜镜头对微小物体（0.1毫米或以上）进行振动位移分析。

将激光照射到待测物体上，物体反射的激光与内部参考激光之间会产生干涉条纹。使用高精度显微镜镜头和 CCD 相机通过图像处理板将这些干涉条纹作为数字数据捕获到 PC 中。MEMSMAP可以使用两种不同的方法来测量被测物体的振动和变形：实时模式和相位调制方法。

在实时模式下，振动和变形以重叠的条纹图案（轮廓图）显示在物体图像上。通过扫频，可以轻松观察共振点处的振动模式。此外，通过使用相位调制方法，可以以动画或3D绘图的形式显示振动模式和位移模式，从而可以进行出色的定量和定性振动和位移分析。

下图显示了尺寸为 3 x 3 mm 的硅胶膜在气压作用下变形时的位移模式。通过将条纹图案实时重叠在测量对象上来显示位移量，可以轻松确认位移分析。

通过使用相位调制，测量灵敏度可提高至大约 1 nm。

日本syscom振动/位移分析装置激光测量仪 MEMSMap 510 规格参数

下面的动画是 14.3MHz 超声波组件和 37MHz 石英晶体振动模式 3D 绘图示例。

该 3D 图还包含实际振动状态的相位信息，通过将相位信息从 0 更改为 2π，您可以在动画中检查对象的振动状态。

当在振动测量中使用相位调制方法时，Micromap还控制被测物体的激励频率，可以测量约1纳米的振动幅度和高达数百兆赫兹的频率范围。