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日本JUSTEM晶圆检测/测量设备手动测厚机

日本JUSTEM晶圆检测/测量设备手动测厚机 STM-06

手动手柄和秤允许在固定位置进行测量。

  • 产品型号:STM-06
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-07
  • 访  问  量:178
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详细介绍

日本JUSTEM晶圆检测/测量设备手动测厚机 STM-06 的特点介绍


手动手柄和秤允许在固定位置进行测量。

通过真空吸附将晶圆固定在平台上。防止测量造成的划伤。

测量数据以 EXCEL 文件形式保存在连接的计算机上。
测量结果显示在PC上,方便查看。
还可根据要求提供地图显示等。


日本JUSTEM晶圆检测/测量设备手动测厚机 STM-06 的特点介绍

目标工作硅(硅)
工作尺寸φ4、5、6英寸
工作厚度80 至 1,500μm
设备类型桌面型
安装环境1000级
设备尺寸宽426×深548×高323(毫米)
设备重量70公斤
电源电压单相100V 50/60Hz 共用
真空-50KPa
测量传感器色差共焦传感器
测量精度
重复10次
标准偏差0.1μm以下
测量点任意多点测量



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