UV灯光源用于晶圆边缘曝光ARK-T

UV灯光源用于晶圆边缘曝光ARK-T EW01S/EW04S

用于晶圆周边曝光的 UV-LED 光源，与 g 线和 i 线抗蚀剂兼容。

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详细介绍

UV灯光源用于晶圆边缘曝光ARK-T EW01S/EW04S

不仅可以安装在新设备上，还可以方便地替换目前使用的UV灯光源。
配备UV-LED，可降低功耗，减少对环境的影响，延长光源的使用寿命，并且无需任何机械消耗部件，大大有助于降低客户的运行成本。

光学设计实现了超过 7,000mw/cm² 的高输出。它是处理厚膜抗蚀剂的理想选择，以前需要大量的处理时间。此外，可以显着缩短曝光处理时间，大大有助于增加处理的晶圆数量。

物品	内容
工作环境温度	5～40℃（无凝结）
电源电压	单相100~240V
工频	50/60赫兹
发射峰值波长	365±5nm
光输出稳定性	±5%以内
初始紫外线强度	2000mw/c㎡以上（at365nm，距离掩模版0.5mm）
强度分布均匀性	10% 或更少（4 x 5 mm 面积）
紫外光源	紫外LED
UV光源寿命	20,000 小时（驱动电流下的预计寿命）* UV 强度为初始值的 50% 或以上时的累积点亮时间
照射ON/OFF功能	UV-LED 开/关控制（通过远程和手动控制开/关灯）
光强调节功能	UV-LED 电流调节光强度调节范围为 20 至 99%
外观材质	防锈的
外形尺寸	150（宽）×200（深）×192（高）毫米

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