Vaccoat手套箱用双靶涡轮泵溅射镀膜机和热蒸发器DST2-TG

更新时间：2024-05-20

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DST2-TG 是一款双靶涡轮泵溅射镀膜机，配有供手套箱使用的热蒸发器，是一种多真空镀膜机系统，将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的桌面系统中，并通过 Wi-Fi 连接进行远程系统控制，可通过触摸屏和PC控制。

高真空系统适用于多种材料的沉积。双磁控靶台式溅射镀膜机可以在蒸发和溅射沉积之间轻松切换，以制备多层涂层。

DST2-TG磁控台式溅射镀膜机是高精度半/全自动真空镀膜系统，配备大室（直径300毫米）和两个2英寸直径水冷阴极，适合长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶材。溅射阴极和热蒸发船可以安装在一起或互换安装，总共可以使用三个沉积源（下订单时）。利用碳纤维也可以实现碳沉积。

两级旋片前级泵

高真空内置涡轮泵90 l/s

全量程真空计

大室（直径 300 毫米，高度 20-25 厘米）适合大型样品沉积

电动升降臂可在真空室中上下移动

两个 2" 水冷溅射阴极

两个石英晶体传感器（1 nm 精度）用于实时厚度测量

安装在手套箱上的 KF40 馈通件，用于电源（直流、射频和高电流 (HC)）、真空泵软管、水冷却和氩气/反应气体连接以及电气连接

两台精密质量流量计 (MFC)，用于精确控制真空和压力

电子百叶窗

阴极选择电机