日本进口YUTAKA高纯度气体用压力调节器半导体制造用压力控制设备L18H系列

更新时间：2024-05-07

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e-flow 高纯度气体压力调节器旨在用于半导体工厂，是一种提高纯度并最大限度地减少外部泄漏、颗粒和死区的产品。
它用于多种气体，包括半导体工厂设施的气瓶柜、连接装置、阀箱以及设备制造商的集成单元。
该产品具有优良的气密性，非常适合特殊高压气体和有毒、腐蚀性的输送。L系列：对焊接头、外密封金属结构的产品。
R系列：阀体旋入式（NPT）规格、外部软密封结构的产品。焊接规范为承插焊。
D系列：将L、R系列与压力控制部分组合而成的先导结构电子控制压力调节器。
U系列：特殊规格有机加工主体、对焊规格，外部密封采用金属密封结构。

L18H系列是一款1.5英寸块式调压器，符合SEMI标准，专为设备制造商的集成供气系统而设计。另外，作为L18产品的后继产品，流量特性也得到了极大的改善。

主体焊接接头规格也非常适合节省阀箱空间。

排放流量大约是之前产品 L18 系列的两倍（相同的面对面尺寸）

隔膜外密封采用金属密封。