日本进口YATAKA半导体制造用压力控制设备高纯度气体用压力调节器R20系列

更新时间：2024-05-07

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R20系列是专为高压、高纯气体设计的产品。这是旧ERS系列的后继产品，其基本结构是内置过滤器和与主体的螺纹连接，使其成为一种高度通用的产品，可以安装各种配件。

车身承插焊支持UJR等焊接接头规格。

功能高压

焊接规格金属垫片接头旋

入式规格双压缩环

接头气缸安装调节阀结构针型兼容气体气体以外的气体标准流量～60NL/分钟

调节压力 Max.0.99MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）

气源压力波动入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00086MPa

承受压力 22.2MPa（进口侧）

CV值 0.08

工作温度 -10~+40℃

外漏螺纹规格（P）：1×10-9Pa·m3/s·He（真空方式）

焊接规格（W）：1×10-11Pa·m3/s·He（真空方式）

（但是，等级“C"（ N2气24小时封装测试）

内部容积 4.67cm（不含3个压力表及接头）

大量的约1.29公斤